高阶半导体量测技术_公开课

培训受众:

除必须了解半导体的基本知识,包括半导体物理,器件物理,以及固态电子器件外,对半导体工艺制程及真空系统等必需有一定认识或实务经验

课程收益:

本课程提供精辟半导体各项特性量测原理及技术等之说明,内容包括:
电阻率

培训颁发证书:

课程结束且考试合格将授予结业证书.

课程大纲

1. 半导体特性简介与电阻率量测 (3小时)
2. 掺杂浓度,载子浓度,移动率量测 (3小时)
3. 接触电阻,Schottky 能障,与电迁移效应评估 (3小时)
4. 串联电阻,MOS器件之道长度与宽度,临界电压与热载子效应 (3小时)
5. 半导体缺陷相关特性量测 (3小时)
6. 氧化层与接口能阶相关量测 (3小时)

培训师介绍

Education:
美国佛罗里达大学电机系博士
Experience:
中国台湾清华大学电机系/电子研究所教授
中国台湾实验室认证体系校正领域评鉴技术委员会委员兼副召集人
中国电机工程学会大学院校电机与信息相关系所学门评鉴委员
中国台湾行政院原子能委员会核能研究所科技顾问
中国台湾工业技术研究院电子工业研究所顾问
中国台湾工业技术研究院能源与资源研究所顾问
中山科学研究院顾问
联华电子股份有限公司顾问
台湾通用器材股份有限公司顾问
沛亨半导体股份有限公司顾问
崇贸科技股份有限公司顾问
台积电顾问
台湾教育部大学暨独立学院教学特优教师奖两次
台湾电子材料与器件协会杰出论文奖
旺宏金硅奖设计组最佳指导教授奖
中国台湾清华大学学术卓越奖
复芯微电子专聘讲师
Specializations：
半导体器件物理; 半导体器件特性量测; 半导体器件电子杂讯分析; 功率半导体器件

本课程名称： 高阶半导体量测技术

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